Objektif espre tèmik wotasyon an gen yon mikwostrikti ki fèt ak grenn plat, wonn ki sanble ak gato, epi oryantasyon grenn lan paralèl ak aks wotasyon an. {0}}%. Sibstans nan kouch, metòd flite, ak to koule gaz yo tout gen yon enpak siyifikatif sou kantite ak fòm nan porositë yo. sib la, yo byen korelasyon ak porositë yo. Kòm yon rezilta, anvan sputtering, sib la flite tèmik bezwen retire gaz la adsorbed soti nan sifas la lè l sèvi avèk yon ponp fè bak izole.
Paske flite tèmik ka kouvri objè tankou branch bwa, fil, ak patikil poud ki pa pral evapore anvan fonn, li ka itilize pou kouvri yon varyete de materyèl, ki gen ladan metal, alyaj, ak seramik. oswa alyaj ki gen pwen k ap fonn kowenside ak sa yo ki nan machin nan Distribisyon. Seramik ki frajil yo pa bon pou depoze. Ekipman espesyal Distribisyon nesesè si pwen fizyon an twò wo. Anplis de sa, kèk materyèl seramik pral fonn oswa degrade anvan fonn.
